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利用领域
· 重要用于超大规模集成电路的前端加工；
· 除硅片表表有机物、金属沾污带的洗濯；

产品特点
· 超纯双氧水为洗濯剂、蚀刻剂的沉要组分

，可与硫酸、硝酸、氢氟酸、氨水等配造使用
。